美国的半导体硅工业

美国的半导体硅工业

年份: 1962

作者: 罗英浩编著

出版: 有色金属研究院

页数: 170

格式:PDF


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目录

一、前言
-- (一)概述
-- (二)硅的历史
-- (三)硅的资源
-- (四)硅的性质
-- (五)硅的用途
二、美国的半导体硅工业情况
-- (一)美国的半导体硅工业发展简史生产企业的工厂建设及现有水平
-- (二)美国半导体硅的生产消费和使用情况
-- (三)美国半导体硅的进出口、对外贸易和市场价格
三、美国半导体硅的生产方法和科学研究技术发展概况
-- (一)纯硅制取方法研究
---- 1.合金法
---- 2.酸浸法
---- 3.金属还原二氧化硅
---- 4.用氢化钙还原四氟化硅
---- 5.用碱金厉或铝还原四氟化硅或碱金属的氟硅酸盐
---- 6.将二氧化硅熔融入碱金属氧化物、氯化钠—氯化铝或氯化铝中炭极高温电解
---- 7.工业硅真空蒸馏
---- 8. Si+SiO2法
-- (二)半导体高纯度硅制取方法研究
---- 1.原料——各种硅化合物的制备与提纯
------ (1)四氯化硅的制备与提纯
------ (2)三氯氢硅的制备与提纯
------ (3)四碘化硅的制备与提纯
------ (4)硅烷的制备与提纯
---- 2.高纯度硅的制取——化学法
------ (1)杜邦法(四氯化硅锌还原)
------ (2)贝尔法(四氯化硅氢还原)
------ (3)西门子法(三氯氢硅氢还原)
------ (4)培西尼法(三氯氢硅热分解)
------ (5)硅烷热分解法(I.S.E法,ST&C法或IT&T法)
------ (6)四碘化硅热分解法
------ (7)四碘化硅氢还原法(西尔凡尼亚法)
------ (8)四氯化硅钠还原法(Aries法)
------ (9)四溴化硅法(钠、锌、氢还原)
------ (10)歧化法
------ (11)其它方法
------ (12)各种制取方法的比较
---- 3.高纯度硅的物理提纯
------ (1)元坩埚区域熔炼法
------ (2)水平区域熔炼法
---- 4.硅单晶的制取
四、美国硅半导体器件的工业生产和研究情况
-- (一)美国硅半导体器件的生产概况
---- 1.晶体管生产水平
---- 2.二极管及整流器生产水平
---- 3.半导体器件工厂设备的生产能力
---- 4.半导体器件的制造方法
---- 5.自动化生产
---- 6.人员雇用情况
---- 7.落货量及价格
-- (二)美国半导体器件的研究及发展情况
-- (三)美国半导体器件的进出口和对外贸易情况
-- (四)美国半导体器件的生产新技术及发展趋势
---- 1.外延生长法
---- 2.微型电子组件
---- 3.提高可靠性
---- 4.降低产品价格
---- 5.电致发光
五 美国半导体硅工业的特点及对其今后发展趋向的估计和看法
六 参考文献(249篇)