美国的半导体硅工业
年份: 1962
作者: 罗英浩编著
出版: 有色金属研究院
页数: 170
格式:PDF
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目录
一、前言
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(一)概述
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(二)硅的历史
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(三)硅的资源
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(四)硅的性质
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(五)硅的用途
二、美国的半导体硅工业情况
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(一)美国的半导体硅工业发展简史生产企业的工厂建设及现有水平
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(二)美国半导体硅的生产消费和使用情况
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(三)美国半导体硅的进出口、对外贸易和市场价格
三、美国半导体硅的生产方法和科学研究技术发展概况
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(一)纯硅制取方法研究
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1.合金法
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2.酸浸法
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3.金属还原二氧化硅
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4.用氢化钙还原四氟化硅
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5.用碱金厉或铝还原四氟化硅或碱金属的氟硅酸盐
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6.将二氧化硅熔融入碱金属氧化物、氯化钠—氯化铝或氯化铝中炭极高温电解
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7.工业硅真空蒸馏
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8. Si+SiO2法
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(二)半导体高纯度硅制取方法研究
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1.原料——各种硅化合物的制备与提纯
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(1)四氯化硅的制备与提纯
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(2)三氯氢硅的制备与提纯
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(3)四碘化硅的制备与提纯
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(4)硅烷的制备与提纯
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2.高纯度硅的制取——化学法
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(1)杜邦法(四氯化硅锌还原)
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(2)贝尔法(四氯化硅氢还原)
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(3)西门子法(三氯氢硅氢还原)
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(4)培西尼法(三氯氢硅热分解)
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(5)硅烷热分解法(I.S.E法,ST&C法或IT&T法)
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(6)四碘化硅热分解法
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(7)四碘化硅氢还原法(西尔凡尼亚法)
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(8)四氯化硅钠还原法(Aries法)
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(9)四溴化硅法(钠、锌、氢还原)
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(10)歧化法
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(11)其它方法
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(12)各种制取方法的比较
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3.高纯度硅的物理提纯
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(1)元坩埚区域熔炼法
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(2)水平区域熔炼法
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4.硅单晶的制取
四、美国硅半导体器件的工业生产和研究情况
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(一)美国硅半导体器件的生产概况
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1.晶体管生产水平
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2.二极管及整流器生产水平
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3.半导体器件工厂设备的生产能力
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4.半导体器件的制造方法
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5.自动化生产
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6.人员雇用情况
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7.落货量及价格
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(二)美国半导体器件的研究及发展情况
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(三)美国半导体器件的进出口和对外贸易情况
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(四)美国半导体器件的生产新技术及发展趋势
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1.外延生长法
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2.微型电子组件
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3.提高可靠性
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4.降低产品价格
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5.电致发光
五 美国半导体硅工业的特点及对其今后发展趋向的估计和看法
六 参考文献(249篇)